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晶園激光精密切割機

發(fā)布時間:2021-02-27 13:41:59  瀏覽次數(shù):

晶園激光精密切割機

                                       
晶圓精密激光切割機是集激光、機械、檢測及運動控制技術于一體的高科技產(chǎn)品。該精密激光切割機對其晶圓的切割和打孔加工生產(chǎn)過程全程自動化控制,人機交互信息完備,操作簡單方便。

該設備光源采用進口激光器,工作臺采用精密直線導軌配合直線電機及DD馬達,光柵尺自動反饋系統(tǒng),大大提升了工作臺的運行速度、定位精度、重復定位精度等參數(shù)指標。采用進口專業(yè)控制板卡統(tǒng)一進行運動及激光工藝的控制,以完成晶圓的切割和打孔加工生產(chǎn)過程。
主要技術指標:
 
焦       距:                  F=80mm或100mm
最小光斑直徑:           <20um
工作有效行程:          250mm×300mm
X、Y軸快速移動速度  200mm/s
空程最大速度:           220mm/s
驅(qū)動方式:                  直線電機驅(qū)動
編碼反饋:                  光柵尺反饋
定位精度:                  ±0.004mm
重復定位精度:          ±0.002mm

 

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